超純水製造装置とは
超純水製造装置は、半導体・製薬工場で使用される高純度の水を生成する専用設備です。水中のイオン類を除去した純水から、さらに微粒子・有機物・溶存ガスを様々な水処理手段で除去し、理論的に最も純粋なH₂Oに近づけます。
半導体製造では比抵抗値18.2 MΩ・cm（25℃）のType 1超純水が標準とされ、わずかなゴミも許されないウエハ洗浄工程や、医薬品製造におけるGMP準拠の注射用水製造に不可欠です。微細化が進む最先端半導体では、さらなる超高純度化と大型化が求められています。
日本の超純水製造装置業界
日本は超純水製造装置分野で世界トップクラスの技術力を誇り、栗田工業・オルガノ・野村マイクロサイエンスの「御三家」が半導体向けプラント市場をリードしています。栗田工業は世界シェア約20%で首位、オルガノはTSMCとの強固な関係を持ち、野村マイクロサイエンスは韓国・台湾顧客への深耕戦略で高成長を遂げています。
日本ガイシは半導体産業向けトータルシステムと製薬分野でのGMP対応に強み、月島ホールディングスは水環境事業全般を手掛けます。ラボ用途ではメルクが国内シェア70%超を占有し、ダイセン・メンブレン・システムズは分離膜技術でパッケージ化を推進しています。世界の超純水市場は2024年時点で約80億米ドル、2037年には約260億米ドルへ拡大見込みです。
装置選定のポイント
超純水製造装置を選ぶ際は、要求水質（抵抗率、TOC値、粒子径）、生産量、対応業界規格（USP、EP、ASTM、GMP）を明確にすることが重要です。半導体工場の新ライン建設では、イオン交換・逆浸透膜（RO）・紫外線酸化・脱気・限外ろ過膜を組み合わせたシステム設計が標準的で、メンテナンスサービスや薬品供給まで一貫対応できるメーカーを選ぶとランニングコストを抑えられます。
製薬分野では日本薬局方・USP・EP準拠が必須であり、バリデーション対応や文書化支援の実績も確認すべきです。複数メーカーを横断比較することで、総合力の栗田工業、技術特化のオルガノ、顧客深耕型の野村マイクロサイエンスなど、自社のニーズに最適なパートナーを見つけられます。